专利名称：一种化学气相沉积炉的辅助进气装置专利类型：实用新型专利发明人：侯光远
申请号：CN201920225777.6申请日：20190222公开号：CN209602637U公开日：20191108
摘要：一种化学气相沉积炉的辅助进气装置，属于气相沉积炉辅助装置领域，其特征在于：包括辅助进气管；所述辅助进气管的两端分别为进气端和末端；所述末端封闭设置；所述辅助进气管的管壁上设置有若干通孔。气体沿气相沉积炉的供气管进入辅助进气管后从管壁上的通孔均匀扩散到炉内不同高度位置，确保炉内各处都有相同气量的气体参与反应，使产品受气均匀，化学反应充分，产品沉积质量提升，减少了中间停炉倒炉的时间。同时该装置结构简单，成本低，在不改变化学气相沉积炉原有结构的基础上有效提高生产效率。
申请人：陕西美兰德炭素有限责任公司
地址：710600 陕西省西安市临潼区秦陵北路56号
国籍：CN
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容
Copyright © 2019- huatuoyibo.net 版权所有 湘ICP备2023021910号-2
违法及侵权请联系：TEL:199 1889 7713 E-MAIL:2724546146@qq.com
本站由北京市万商天勤律师事务所王兴未律师提供法律服务