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绝缘栅双极晶体管及其制作方法[发明专利]

来源:图艺博知识网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:绝缘栅双极晶体管及其制作方法专利类型:发明专利发明人:王海军,李江华申请号:CN201110431435.8申请日:20111221公开号:CN103178102A公开日:20130626

摘要:本发明公开了一种绝缘栅双极晶体管,包括多个P型柱,各P型柱将漂移区分隔成多个单元,且各P型柱和各P型柱之间的第一N型层组成P型薄层和N型薄层交替排列的结构,使组成IGBT器件的NMOS为一种超级结的库尔MOS结构,超级结的NMOS结构能使器件的漂移区更易耗尽,从而能提高漂移区的耐压能力并提高器件整体的耐压能力;漂移区的耐压能力的提高,能使漂移区的掺杂浓度提高,以及能使漂移区的厚度变薄,从而能降低器件导通电阻,增加器件的电流密度,减小器件通态时的电阻和焦耳热,提高器件的关断响应速度。本发明公开了一种绝缘栅双极晶体管的制作方法。

申请人:上海华虹NEC电子有限公司

地址:201206 上海市浦东新区川桥路1188号

国籍:CN

代理机构:上海浦一知识产权代理有限公司

代理人:丁纪铁

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