晶片的定位方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200680005772.8 （22）申请日 2006.01.09

（71）申请人 OC欧瑞康巴尔斯公司

地址 列支敦士登巴尔策斯

（10）申请公布号 CN1011228A

（43）申请公布日 2008.02.20

（72）发明人 B·肖尔特范马斯特;H·克里斯特;R·施穆基 （74）专利代理机构 中国专利代理()有限公司

代理人 卢江

（51）Int.CI

H01L21/68; H01L21/00;

权利要求说明书 说明书 幅图

（）发明名称

晶片的定位方法

（57）摘要

一种在具有输送室的真空处理设备中定位

具有基准标记(6)的晶片(3)的方法，该输送室包含用于使晶片(3)在一个平面内运动到安置在该输送室旁的处理室的输送装置(2，20，21)，和单个的传感器(1)，其中所述传感器(1)安置在处理室前的输送室内部，用于通过采集晶片(3)棱边上的第一检测点(4)和第二检测点(5)来采集晶片(3)的

位置，使得在已知晶片直径时用两个所测得的检测点(4，5)的电子分析获得晶片(3)的真实位置，并且输送装置(2，20，21)将晶片(3)导向所希望的额定位置，其中将晶片(3)参照其基准标记(6)对准地放置在输送装置(2，20，21)的预先设定的位置上，并且基准标记(6)沿运动方向在晶片(3)上的投影确定了一个禁止区域(22)，并且由此晶片(3)的其余区域定义出一个自由区域，其中将传感器(1)在输送室中安置成，使得禁止区域(22)肯定不被覆盖并且由此使传感器(1)可以只采集晶片棱边的圆形区域，而不是基准标记(6)部分。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

2008-02-20 公开 2008-02-20 公开

2008-04-16 实质审查的生效 2008-04-16 实质审查的生效 2009-08-05 授权 2009-08-05 授权

2014-08-13 专利申请权、专利权的转移 2014-08-13 专利申请权、专利权的转移 2018-12-28

专利权的终止

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权

专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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