一种晶圆用合框装置[实用新型专利]

来源：图艺博知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：一种晶圆用合框装置专利类型：实用新型专利

发明人：聂伟,陈志远,孟强,王坤,魏通,徐学飞,孔凡苑申请号：CN201920038462.0申请日：20190110公开号：CN209232755U公开日：20190809

摘要：本实用新型公开了半导体加工领域内的一种晶圆用合框装置，包括机箱，机箱左侧设置有晶圆进料口，机箱内对应晶圆进料口设有搬运机器人，所述机箱内对应搬运机器人设有晶圆周向定位机构，所述机箱右侧设有定位环进料口，机箱内对应定位环进料口设有定位环合框机构，与所述定位环合框机构、搬运机器人相对应地设有晶圆合框机构，所述机箱后侧对应晶圆合框机构设有成品出料口。本实用新型能够实现自动将晶圆与底膜贴合固定，并在底膜边缘固定好定位环，实现自动合框。

申请人：江苏汇成光电有限公司

地址：225128 江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号

国籍：CN

代理机构：南京苏科专利代理有限责任公司

代理人：董旭东

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文