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用于控制半导体晶片旋转器系统的处理模块的装置和方法[发明专利]

来源：图艺博知识网

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：用于控制半导体晶片旋转器系统的处理模块的装置

和方法

专利类型：发明专利发明人：金璡基

申请号：CN99107157.3申请日：19990604公开号：CN1241017A公开日：20000112

摘要：一种控制半导体晶片旋转器系统的处理模块的装置,包括:输入装置驱动器;存储器部分;处方解释器;和处方执行服务器。在存储器部分和处方解释器之间安装消息传送器。由于处方的处理、每个单元的存储器的指定、和存储器的访问被执行,多个涂敷器和显影器单元可以由单个处理模块控制装置同时控制。该系统可以根据用户的需要来配置,用单个输入驱动器和外部输入装置进行接口,使旋转器系统的处理模块设备的控制容易。

申请人：三星电子株式会社

地址：韩国京畿道

国籍：KR

代理机构：柳沈知识产权律师事务所

代理人：马莹

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